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RF matcher
阻抗匹配RF系统–Match box 在半导体制造中，射频匹配器（RF Match） 是射频电源系…
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PECVD中13.56 MHz和350 kHz的RF Power各自在做什么
？ PECVD腔体里有两路射频，一路13.56 MHz，一路350 kHz。 频率差了将近40倍，却同时存在于…
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